磁控溅射镀膜机磋商采购公告

作者: 来源:发布时间:2023-10-09

项目名称:磁控溅射镀膜机

项目编号:西交材招(2023)23

项目联系人:陈波

项目联系电话:19582130176

采购单位联系方式:

采购单位:304永利集团官网入口

采购联系人:黄小燕 邮箱:huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn

联系地址:西安市咸宁西路28号304永利集团官网入口仲英楼A223室

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍:

名称:磁控溅射镀膜机

数量:1台

规格描述:1.真空腔室:采用SUS304不锈钢制作,镀膜室内净尺寸:≥ L400×W440×H450;方箱式,配有前、后两个门,前门水平滑开式,便于手套箱内操作;后门为侧开式门,用于设备清理维护;镀膜室需配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封可靠;

2.真空系统:复合分子泵(抽速不小于1300L/S)+涡旋干泵(抽速不小于9L/S)+高真空阀门组合的高真空系统,数显复合真空计。

3.真空极限:≤6.0×10-5Pa(空载,经烘烤除气后)。

4.抽速:(空载)从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min。

5.基片台:可承载210×210mm,提供相应尺寸的样品托,旋转:0~20转/分钟;基片台加热:室温~500±1℃,采用镍铬加热器,PID智能温控闭环控温。

6.ITO膜层不均匀性;100×100mm样品≤±5%,210×210mm范围内≤±20%;

检测及计算方式:多点测量,(最大值-最小值)/(最大值+最小值)×100%;

7.溅射靶及电源:不少于2只4英寸的磁控溅射靶,自动匹配射频电源功率500W不少于2台,直流脉冲溅射电源1KW不少于1台,偏压电源功率1KW不少于1台。

8.自动压控系统:Φ200mm,配0.1Torr薄膜规,有利于工作压力恒定,保持镀膜时工艺压力稳定。

9.工作气路:氩、氧、氮量程范围不低于0~100/10/10sccm,气路不少于三路。

10.控制系统:需采用PLC+触摸屏半自动控制,可实现自动一键式抽真空。

11.机架:铝合金外框包装一体化设计,底下配脚轮,方便移动、定位。

12.辅助部件:

12.1冷却循环水机1台,≥3P,水压0.2~0.3MPa,水温10~25℃,流量≥30L/min ;

12.2小型空气压缩机 1 台,排气量≥90L/min,储气罐容积≥38L(0.038 m³),噪音: ≤68dB。

二、对供应商资格要求(供应商资格条件):

(一) 供应商的资格要求:
  1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求;
  2. 具有独立法人资格及相关证照,具有良好信誉及合同履行能力,具有良好资金、财务状况。
  3. 供应商应为所提供产品的生产企业,或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
  4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
  5. 本项目不接受联合体投标。
  6. 其他要求:
  本项目特殊要求在技术规格指标中列明
(二)供应商报名方式:
  符合本公告要求的供应商,填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后,彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

三、采购文件的发售时间及地点等:

磋商时间:2023年10月16日15点30分

地点:304永利集团官网入口兴庆校区304永利集团官网入口第四会议室(仲英楼A222)

获取磋商文件时间: 2023年10月9日-10月13日18点

获取磋商文件方式:报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间:2023年10月16日15点30分

响应文件递交地址:西安市咸宁西路28号304永利集团官网入口仲英楼

响应文件开启时间: 2023年10月16日15点30分

响应文件开启地点:西安市咸宁西路28号304永利集团官网入口仲英楼